センサエキスポジャパン2016

小間番号

SJ-9

出展社名	地方独立行政法人　大阪府立産業技術総合研究所
住所	〒594-1157 大阪府和泉市あゆみ野2-7-1
みどころ	シリコンディープRIEを用いて作製したMEMS超音波センサ、振動発電素子と、フレキシブルでデジタル出力可能な有機温度センサについて紹介する。